纳米表征与纳米器件中心

      

 纳米表征与纳米器件中心网上预约平台:http://wnlo-hust.ylab.cn 

 

联系人:苏老师  邮箱:jsu@hust.edu.cn


       本中心在国家实验室和王中林院士的领导下,从2010起开始建设,历时3年,现已成功安装四台电子显微镜,它们分别是:300 kV电子束球差校正透射电子显微镜(300 kV Titan Probe corrected TEM,Titan G2 60-300),扫描电镜/聚焦离子束电镜系统 (Quanta 3D FEG Dualbeam),200 kV高分辨透射电子显微镜(200 kV HRTEM,Tecnai G2 20 U-Twin)和热场发射扫描电镜(Nova NanoSEM 450)。 此平台的建设对国家实验室、学校乃至中南地区的光电子学,生物医学,物理学,材料学,化学等学科领域的基础研究起到重要的支撑和服务。


 

 

 

300 kV电子束球差校正透射电镜

    高分辨透射电镜的分辨率一般可以达到2 Å,经过多年的发展,通过提高加速电压来提高分辨率遇到了技术上的瓶颈。球差校正技术的诞生提供了突破1 Å分辨率的途径,Titan就是在这个情况下应运而生,可达到0.78 Å的分辨率。除常规功能外,此电镜可进行EELSEDS的分析与元素分布成像。冷台、热台、力台和电台的原位分析的功能材料与器件研究。

 

 


 


扫描电镜/聚焦离子束电镜系统

    SEM/FIB双束系统主要用于在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。同时,配备纳米机械手之后,可以定点制备TEM样品,此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。

 
 


 200 kV高分辨透射电子显微镜

 该透射电镜具有如下功能。形貌分析:获得非晶材料的质厚衬度像,多晶材料的衍射衬度像和单晶薄膜的相位衬度像(原子像)。结构分析:电子衍射,原子位错,孪晶类型,晶界结构等研究。成分分析:小到纳米尺度的微区或晶粒的成分分析。

 

 


 



热场发射扫描电镜

    以波长极短的电子束聚焦后在样品表面扫描,接收从样品表面激发出的二次电子信号成像。主要用于观察固体表面的形貌,也能与EBSD或电子能谱仪相结合,构成电子微探针,用于物质成分分析。此电镜可对导电率小的材料分析还可进行环境气氛下材料研究。